CLEANWAY® CLW-600 為200和300mm的晶片在無塵車間的固定路徑的搬送提供了一個高速的方案。搬送在這個設備上實現，這大大提高了可靠性，并縮短了搬送時間。 使用無接觸電源供電系統，在沒有電池時，CLW-600 可靠地進行搬送工作。它是高速的，摩擦力驅動的，在搬運負載時可以達到 80 m/min. (262 ft./min.)，以支持高物流量的快速移動。 特征和優點 • 固定路徑的高速環路 以驚人的速度快速可靠的搬運，確保該過程的最大生產力。 • 無接觸電源供電系統 沒有運動部件和電池，所以可以長時間的可靠工作。 • 易擴展 模塊化的設計使你可以在很短的停工時間內把你的軌道增長一段。 • 符合工業標準 依造SEMI標準，在任何加工產品，確保安全和可靠地運做。 • 高速的摩擦力驅動 搬送負載速度到達80 m/min. (262 ft./min.)，支持高物流量的操作同時縮短搬運時間。 • 潔凈 達到有FFU Class 1 和無FFU Class 100 無塵車間標準